中国最大の半導体メーカー、７ｎｍ製造技術確立か－米制裁対象

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• Kato Jun

  ユーザベース SPEEDAアナリスト

  ・2022年07月22日

  SMICが7nmでの生産という報道。
  7nmは、ArF液浸マルチパターニングでもギリギリ作れる。例えば①はニコンの2016年の発表。ただ本文にあるように「米国は2020年後半以降、上海に本社を置くＳＭＩＣに10ｎｍ線幅以下の半導体製造に利用可能な装置を許可を得ず販売することを禁止している。」とあり、EUVでなくても輸出規制にヒットしそうに思い、どうやって手に入れたどこの会社の機械かが気になる。
  
  なお②のIntel 4についての記事も面白い。
  Intel 4は、製造プロセスは7nmだが、実質は4nm相当のプロセスということでこういう名前。2ページに液浸マルチプロセスで作った回路とEUVで作った回路の比較図がある。EUVのほうがシャープな現像で、プロセスもシンプル。
  
  ①https://newswitch.jp/p/3706
  ②https://newspicks.com/news/7303593