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こちらのMEMSなどか。
https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00001/03207/

そしてやはり300mmは1000億円超は普通にかかる(②の東芝のパワー半導体300mmと併せて)。そしてこれまでのロイトリンゲンはSiCにシフトの計画
https://monoist.atmarkit.co.jp/mn/articles/1910/09/news051.html
https://newspicks.com/news/5677985

業績