信越化学、半導体素材に300億円投資 生産能力2割増
日本経済新聞
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EUVレジストについて、先日富士フイルムと住化の下記報道があったが、信越はフェーズとしても投資金額としても先に進んでいる。
既に量産で利用されていて、キャパ・プロセスインテグレーションの両面でTSMCに応えるために台湾での生産と、日本での増産ということ。
材料を作ること自体も極めて難易度が高いが、それだけじゃなくプロセスでの調整が極めて重要な財ということが、立地からも窺える。
https://newspicks.com/news/5293012