ウエハ以外で、半導体製造でシリコンが注目を集めている、という記事。 パーツだとコストがSiC<シリコンとなるのが興味深い(ウエハだと生産量の違いもあるが面積単価は多分SiC>シリコン)。石英はチャンバーなどで使われているが、組成が安定しているから。コンタミが少ないというのは、それらと比較しても組成が安定しているのだろうか。そして納期が早いことも背景が気になる。
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