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半導体設備投資、17年は2割増の765億ドル

電子デバイス産業新聞(旧半導体産業新聞)
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NANDを中心とした半導体投資が、本当に活発!
過去推移に関しては、前工程装置のみではあるが、下記の東京エレクトロンの資料が分かりやすい。
時系列の推移は11ページにあるが、大きな谷がなく2010年以降推移している(2012年とかに下がってはいるが、過去のピークボトム比率を考えると、そこまでの落ち込みとは言えないと思う)。
http://www.tel.co.jp/ir/document/IR-STD(J).pdf