東エレク、ラムの牙城狙う メモリー製造で新技術 - 日本経済新聞

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• みゅーと .

  半導体製造装置 機械設計

  ・2023年10月14日

  東北大学田中先生がまとめていただいていたのでご紹介
  https://twitter.com/mems6934/status/1712804636162453997
  
  なお、装置の使用エネルギーが減る（同日市販化が発表のCanon NILも同様）ことはデバイスメーカーにとっても装置メーカーにとっても、そして地球環境にも良いと三方良しなのですが、装置のスループットが上がるのはデバイスメーカーにとっては装置の必要台数を減らせるいっぽうで装置メーカーにとっては売り上げが減少するという構図であることにはご注意いただきたいです（それに見合った価格とできた場合や、他社からシェアを奪った場合はもちろん別です）。