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東京大ら、穴径6μm以下の微細な加工を実現
EE Times Japan
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2022/11/04
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コメント
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村井 誠
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株式会社アダコテック COO
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2022年11月04日
ピコ秒x深紫外ってことはビームプロファイルの強度が高いところだけで多光子吸収使って加工するんですかね?6umで秒間数千穴はすごい!
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