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東大など、1024個の分子センサを5mm四方に集積化したセンサアレイを開発

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  • 汎用エンジニア

    酸化物半導体の抵抗変化式なので、吸着酸素空乏層が飛来ガス還元されることによる抵抗変化を検出している。一般的な可燃ガスセンサに使われている方式で、可燃ガス全般に反応し、ガス選択性に乏しいのが難点。

    それに対してこれは微小かつアレイ化しているのが特徴で、センサ素子自体の熱容量が小さいのと空間的な分解野を持っているところが大きな違いに見える。

    空間分解能は使いにくそう。場所特定とかさすがに厳しいだろうし、多点計測による統計的補正とかのほうが現実的なような…

    小熱容量は面白くて、これゆえに過渡的な吸着ガス揮発が比較できて、結果として蒸気圧、つまりガス種特定につながる情報を得られる。ここには機械学習的な手法を組み合わせることもできて、ある程度はガス判別ができそう。


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