特集：半導体製造装置、長期ブームの可能性を探るー3ナノの生産能力は5ナノを上回るかー(東京エレクトロン、アドバンテスト、レーザーテック、ディスコ、SCREENホールディングス、アプライドマテリアルズ、ASMLホールディング、KLA、シノプシス)