TED、化合物半導体ウエハー表面の検査装置を発売

コメント

注目のコメント

• tanaka k

  汎用エンジニア

  ・2020年06月14日

  面白そうだけど技術的な情報が見つからない。半透明膜はそれ自体のnkとかむしろ測りやすいがこれは表面のキズ、となると透過するのはうれしくないわけで、角度付けて全反射モードとかでやるのだろうか。それならブリュースター角取れないそもそもnkどうでも良いということでエリプソメトリでなく単純な反射測定？　ライン光源とかついてるので最近流行りのハイパースペクトルみたいなライン受光器使ってそう。
  
  表裏非接触搬送と聞くと電磁的またはエアで浮かせるか。デバイスに電場入れたくないだろうし装置内にゴミがない前提としてもエアはパーティクルリスクあって使いにくい。たぶんエッジつかむのではないかな。