代表的なMEMSセンサーとその応用（後編）

コメント

注目のコメント

• tanaka k

  汎用エンジニア

  ・2020年04月24日

  圧力センサは静電容量式しか知らなかった。ピエゾ式はピエゾ素子を使うという大きな弱点に対して何が良いんだろうか。感度良くて大変形が不要とか？
  
  傾斜は加速度センサで良いのではと思ったら加速度センサだった。２個使って差分出力。傾きを計算するとこまで村田がパッケージング。