R2Rで有機TFT回路を印刷、グラビアオフセットで微細加工
日経テクノロジーオンライン
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以下記事引用。
東レエンジニアリングのロール・ツー・ロール(R2R)方式のインクジェット塗布装置と、SCREENホールディングスのグラビアオフセット印刷装置および印刷用平版を紹介記事。
山形大学、東レエンジニアリング、JSRおよび横河電機は共同で、R2R印刷装置で有機TFTの集積回路を製造するためのプロセス技術を開発している。フィルム変形を高度に補正する機構や親撥パターニング法を使った微細電極形成、有機半導体の結晶性センシングなど、R2R印刷プロセスに向けた高精細印刷技術と有機TFT回路の高性能化技術の開発を進めている。新しいウエアラブル/フレキシブルデバイスの製造技術の確立を目指している。
山形大学、東レエンジニアリング、JSRおよび横河電機の役割分担は、以下の通り。
【山形大学】
高精細印刷用の低温焼成銀ナノ粒子インク
【山形大学×東レエンジニアリング】
高精度インクジェット印刷システム
【山形大学×JSR】
親撥パターニングを使ったインクジェット電極の微細化
【山形大学×横河電機】
有機薄膜の非接触評価装置(応力、配向性、表面張力、膜厚)