JSRがEUVレジストメーカーInpriaを完全子会社化、EUVレジスト事業を強化

コメント

注目のコメント

• T. Riki

  製造業 Marketing Manager

  ・2021年09月21日

  ・2017年にシリーズBでJSRは出資済。
  
  Samsung Venturesがリード。ALIAD (Air Liquide’s venture capital investment arm), Applied Ventures (the venture capital arm of Applied Materials, Inc.), and Intel Capital. JSR CorporationはシリーズBからの参加。
  
  https://www.nikkei.com/article/DGXLRSP451017_S7A710C1000000/
  
  記事にもあるが祖業である合成ゴムを売却しつつ、自社の重要事業のポートフォリオ拡充に動いているということ。
• Kato Jun

  ユーザベース SPEEDAアナリスト

  ・2021年09月22日

  気になる買収。そもそもレジストは、開発サイクルに入ることが重要なので新規参入がしにくい領域。Inpriaという会社は知らなかったし、出資していたことも知らなった。JSRは自社でEUVレジストを手掛けているし採用もされている中での買収という観点で、技術ポートフォリオ広げたり、他社に買収される前に、的な観点だろうか？
  
  ＜追記＞もう少し見てみた。
  創業は2007年、元はオレゴン州立大学からのスピンオフ（オレゴンはIntelのせいぞ拠点の一つ）。
  投資家リストがすごく、RikiさんやKenjiさんがコメントされている（ありがとうございます！）ような大手が勢ぞろい。日本勢では東京応化も出資しているが、富士フイルムや信越（同じくレジストメーカー）、TELは出資してなさそう。
  レジスト系で投資をしていたのが、資本力でJSRが勝てる東京応化で、富士フイルムや信越ではなかったというのがラッキーだったようにも思う。これは早いうちに関係性を作ったりラウンドに入っていたことのメリットか。
  そしてSamsungはメモリも手掛けるが、DRAM・NANDのSK Hynixも入っているのが印象的。DRAMはそろそろEUV利用が始まってきたと思う。
  https://www.inpria.com/
  ＜追記終＞
• tanaka k

  汎用エンジニア

  ・2021年09月22日

  EUVの弱点は露光量を稼げないところで、inpriaはそれを補うためEUV吸収率の高いスズ含有レジストを開発した。結果として他より高いパターン解像度が得られるとか学会で発表してた気がする。他にも吸収率高い材料あったはずだけどスズは金属としては蒸気圧が高いのでドライ工程で除去するのが容易な点も受け入れられやすい。