SK Hynix、EUVリソグラフィを採用した1a-nm DRAMの量産を開始

コメント

注目のコメント

• Kato Jun

  ユーザベース SPEEDAアナリスト

  ・2021年07月16日

  SK HynixもEUVでのDRAM量産開始。
  Samsungは2020年から開始し、Nanyaは4月に工場建設発表。
  https://newspicks.com/news/5794353
  
  EUVの威力は、下記が分かりやすい。ArF液浸マルチパターニングはかなりのパワープレーで、線が曲がっていることが分かりやすい。EUVだと、しっかりと「現像」をシャープにできる。曲がっていると、回路が接触したり脆弱になり、歩留まりが悪化する。
  https://newspicks.com/news/5647254
  ②https://newspicks.com/news/5985222