ペリクルって一体なに？半導体回路の微細化に欠かせない「ＥＵＶ露光」技術

コメント

注目のコメント

• Keisuke Yamazaki

  Singapore RHQ Founder / Business Development Manager

  ・2022年04月27日

  あまり質の良い記事ではない。
  EUVではペリクル（防塵カバー）も大事だけど、なんといっても光源。
  また欠陥検査装置でKLAとあるが、これはまだ市場投入できていない。