熱CVD向け そもそも反応系が均一であれば、ゾーン分けする必要はない 伝熱的に均一なステージを作れば良い 従来画像みたいに熱分布が偏るのは、例えばガス流れ場など非対称な要素があるから これを補正するためにゾーン分けしている あとは、どういった類の非対称性に対応できるか 例えば中間ゾーンの周方向非対称とか、難しいのでは ヒーター配置もセンサ配置も気になる 制御も こういうのは機械学習使う手もある あと類似特許多い気がする
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