半導体製造装置、FPD製造装置、真空応用装置等の製造販売。半導体製造装置は前工程・後工程の両方の装置を扱う。液晶製造向け洗浄装置等に強み。中国、台湾、韓国中心に海外展開も。
時価総額
891 億円

業績