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レーザーテックは日本が世界に誇れる会社。顧客の問題解決に一心に取り組み、様々な技術をすり合わせて解決する。この検査装置の市場は以前までは米KLAがほぼ独占していたのですが、まぁシェアにあぐらをかいて傲慢だったのをTSMCが嫌がり、レーザーテックをすごく応援したんです。検査装置の光源がEUVに変わったのも大きい。以前までのDUV光源を使った検査ではKLAが不純物検知のライブラリを積み上げていたことが参入障壁になってましたが、EUV光源に変わったことでその参入障壁がリセットされちゃった。お陰でいち早くTSMCから受注を確保して装置を仕上げたレーザーテックがダントツになった。

今後ペリクルの開発が進んだ時に台数が減るリスクはありますが(検査の頻度が減るから)、この記事だとペリクルを載せたままの検査装置の方が値段は高そうですね。

EUVの露光装置ではASML独占ですが、マスクブランクスはHoya、EUV用コータデベロッパーではTEL、マスクとマスクブランクス検査装置ではレーザーテック、フォトレジストでは信越、JSR、東京応化などの日本企業が供給を独占しています。

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