露光技術の微細化限界を突破する自己組織化技術

コメント

注目のコメント

• tanaka k

  汎用エンジニア

  ・2020年12月20日

  3-4年前、EUVが本格的に始動したあたりで、懐疑的だった人たちにもやはりサブナノオーダー技術が必要という認識が広まり、この自己組織化技術も盛んに研究されるようになった。もっとも、まずは記事にあるようなリソを置き換えるようなパターニング用途ではなく、選択比を得るための記事として使われていくはず。例えば膜種によって表面終端基が変わってくるので、片方の表面にだけ自己組織化させることができれば、ダメージなしに無限の選択比を得られる。とにかく高パワーで叩きまくるメモリプロセスとは完全に異なる世界。