半導体製造装置立ち上げをMRで遠隔支援、ASMLがコロナ禍で強化
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半導体製造装置の立ち上げにも仮想現実のツールが充実してきた。
半導体を製造する装置はASML性の装置だけで構成できる訳ではないので、製造装置・搬送系・検査装置をスルーして仮想現実化できると、真のデジタルツイン、DX工場が実現しそう。でもいつになるか? 最新の12inch wafer製造ライン以降でないと導入は難しい!?半導体製造装置の中でも特に高価な露光装置、なおかつ最先端のEUV露光装置をリモートサポートするといのも、COVID−19による移動制限（入国制限）への対応です。
装置が生産ラインに搬入されれば、技術者が立ち上げ試験など動作確認のため、現地に赴くのが当たり前なのですが、コロナ禍の中、それができないことも出てきているわけです。
それをMRデバイスで立ち上げ支援をするというASMLの対応は、今後半導体装置に限らず広がる可能性があります。
装置メーカーの保守担当者が装置の点検、メンテナンスに現地に出向いて行ったり、リモートもスマートグラスを使って保守担当者を支援するというのは、従来からあります。
しかしASMLのMRによる遠隔支援は、それとは違い、実際の作業をユーザーがMRデバイスを用いて、ASMLの技術者が直接ユーザーを支援するものです。
こうなれば、従来メーカーが対応していた点検や保守作業をMRデバイスでメーカーの支援を得ながら、ユーザーが実作業を行えることになります。
装置の3Dデーターを使えば、MRでユーザーを直接支援することができ、ユーザーがそれに満足すれば、装置の保守メンテのあり方も大きく変わるでしょう。
装置はIoT/AIによる故障予知にも対応していれば、TMB(Time Based Maintenance）からCBM（Condition Based Maintenance)となり、保守メンテナンス費用も削減できるようになります。
メーカーにとっては、熟練技術者を派遣しなくても対応できるようになるので、人材の活用にもなりますし、現地に派遣される若手の育成にもつながります。
コロナ後は、技術者が現地に行くことができるので、ユーザーが実作業の必要性はなくなりますが、ユーザーが派遣費用を節約のために、MRによる遠隔支援を望むようになる可能性もあります。
半導体製造装置のような繊細な装置でさえ、ASMLはMRによるユーザー直接支援の実績を積んでいるわけです。
コロナ後の装置のメンテナンスは、いち早くDX化されそうです。
