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そう言えばムカシMUMPsっていうのが MEMS でありましたねぇ、研究・試作用でしたが 若い頃 MEMS やってたので、何回か使いましたねぇ

あ、まだあるみたいです
http://www.memscap.com/products/mumps
90nmまで欲しくなるが、有線電話とか電源ハブとかデスク照明とか、既存品を再発明しやすくなる。”グーグルとスカイウォーターという2つの米企業が協力して発表した今回のアプローチは、最もハードルが高かったPDKについて、130nmというプロセスルールのものを完全に自由でオープンに構築し、公開する”