サムスンやTSMCなど、米フォトレジト開発社に追加投資

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• Lee Dal-Young

  サムスン電子が半導体EUV（極紫外線）用フォトレジスト（感光液）の開発に特化スタートアップである米国のインプリア社（Inpria Corporation）に追加投資。JSRも参加するようです。