YMTC、中国企業より3D NAND向けエッチング装置を購入 - 中韓メディア報道
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ついにこの日が。台数からしてどこかの工程に部分的に入れる感じだろうか。まずは精度要求の低いバックエンドから始めて、いずれは最先端のフロントエンドへ。その過程で置き換えを進めていく。
半導体の場合、小さく作ることで性能と生産性を飛躍的に高めることができた。だから前のめりに設備投資できるし、しなきゃいけなかった。3次元集積化を経て、このスケーリング則が終わる。最先端装置を導入しても、さほど高付加価値化できなくなるけど、半導体需要は伸びていて増産したい。装置に対するコスト要求が強くなる。それと半導体内製化政策の結果がこれな気がする。
なんかイノベーションのジレンマって感じ。量子コンピュータも大した加工精度いらんらしいし、既存装置メーカーはここで変われないと、市場が変わったタイミングで置いてかれそう。