［東京／フランクフルト　２４日　ロイター］ - ニコン <7731.T>は２４日、オランダＡＳＭＬ<ASML.AS>とドイツ光学機器大手カールツァイス<CZTOP.UL>が半導体露光装置に関する特許を侵害しているとして、特許技術が使われている同装置などの販売差し止めと損賠賠償を求める訴えをオランダ、ドイツ、日本で起こしたと発表した。

ニコンは、半導体製造の中核装置である露光装置の中で、「ＡｒＦ液浸」と呼ばれる先端の装置について特許侵害を主張している。同装置を製造しているＡＳＭＬにはオランダ・ハーグ地裁と東京地裁で、ＡＳＭＬの液浸露光装置に使用されている光学部品を製造するカールツァイスをドイツのマンハイム地裁にそれぞれ提訴した。

ニコンはＡｒＦ液浸装置のシェアでＡＳＭＬに大きく差をつけられており、今回の提訴の行方は、経営にも少なからぬ影響を及ぼしそうだ。

訴状には暫定の損害賠償請求額が示されているが、「今後は裁判において立証していく中で増額していく」（ニコン広報部）としている。

一方、ＡＳＭＬ側は、ニコンの提訴について、「事実無根かつ不必要なもので半導体産業に不確実性をもたらす」（ピーター・ウェニック最高経営責任者）と批判を交えて反論している。カールツァイスからはコメントは得られていない。

(浜田健太郎　Harro ten Wolde　Eric Auchard　編集：吉瀬邦彦)