200ミリ半導体は、2000年半ばから300ミリが拡大するまで、主力だった。そのうえで、気になるのはどこらへんの線幅の機械なのか。IoTだけでなくパワー半導体の需要も増加していると思う(SiCなどへのシフトもあろうが)。パワー半導体だと線幅はそんなに細くないはず。 <追記>Takuさん、ありがとうございます!やはり、線幅はKrFやi線ですね…<追記終>
自動車向けは200㎜ですしね
今後はこっちが主流なのか。でも中古機やら改造機やらが出回ると装置メーカーは儲からない
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